注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整，暫不接受個(gè)人委托測(cè)試，望見(jiàn)諒。
標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)：GB/T 18867-2014 電子工業(yè)用氣體 六氟化硫
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了六氟化硫的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、標(biāo)志、包裝、貯存及安全等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于硫與氟直接反應(yīng)并經(jīng)精制和純化制備的六氟化硫。該產(chǎn)品主要用作電子工業(yè)中化學(xué)氣相沉積室的清洗劑和等離子蝕刻劑等。
英文名稱： Gases for electronic industry—Sulphur hexaflouride
替代情況： 替代GB/T 18867-2002
中標(biāo)分類： 化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類： 化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
發(fā)布部門： 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
發(fā)布日期： 2014-12-22
實(shí)施日期： 2015-07-01
提出單位： 全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203)
檢測(cè)優(yōu)勢(shì)
中析研究所檢測(cè)服務(wù)涵蓋材料、化工、生物、熱學(xué)、光學(xué)、機(jī)械、電力、建材等多個(gè)行業(yè)和領(lǐng)域
旗下實(shí)驗(yàn)室CMA資質(zhì)檢測(cè)機(jī)構(gòu)，高素質(zhì)檢測(cè)團(tuán)隊(duì)
檢測(cè)資質(zhì)（部分）
檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室（部分）
合作客戶（部分）
結(jié)語(yǔ)
以上是GB/T 18867-2014 電子工業(yè)用氣體 六氟化硫服務(wù)的相關(guān)介紹。
