注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整，暫不接受個人委托測試，望見諒。
標(biāo)準(zhǔn)編號：GB/T 14851-2009 電子工業(yè)用氣體 磷化氫
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用磷化氫的技術(shù)要求,試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。本標(biāo)準(zhǔn)適用于亞磷酸熱分解、磷化物水解、單質(zhì)磷與水或堿反應(yīng)等方法獲得并經(jīng)精制得到的磷化氫產(chǎn)品。它主要用于半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)的外延、離子注入和摻雜。
英文名稱： Gas for electronic industry—Phosphine
替代情況： 替代GB/T 14851-1993
中標(biāo)分類： 化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類： 化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
發(fā)布部門： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
發(fā)布日期： 2009-10-30
實(shí)施日期： 2010-05-01
首發(fā)日期： 1993-12-30
提出單位： 全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
檢測優(yōu)勢
中析研究所檢測服務(wù)涵蓋材料、化工、生物、熱學(xué)、光學(xué)、機(jī)械、電力、建材等多個行業(yè)和領(lǐng)域
旗下實(shí)驗(yàn)室CMA資質(zhì)檢測機(jī)構(gòu)，高素質(zhì)檢測團(tuán)隊(duì)
檢測資質(zhì)（部分）
檢測實(shí)驗(yàn)室（部分）
合作客戶（部分）
結(jié)語
以上是GB/T 14851-2009 電子工業(yè)用氣體 磷化氫服務(wù)的相關(guān)介紹。
