注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整，暫不接受個人委托測試，望見諒。
標準編號：GB/T 15909-2017 電子工業(yè)用氣體 硅烷
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
標準簡介：本標準規(guī)定了硅烷氣體的技術(shù)要求、試驗方法、標志、包裝、貯運及安全的內(nèi)容。?本標準適用于硅化鎂法、氫化鋁鈉還原四氟化硅法、氯硅烷歧化工藝法制備的電子工業(yè)用硅烷。 它主要用于制作高純多晶硅、二氧化硅的低溫化學(xué)氣相淀積、氮化硅化學(xué)氣相淀積、多晶硅隔離層、多晶硅歐姆接觸層和異質(zhì)或同質(zhì)硅外延生長原料以及離子注入源和激光介質(zhì)等，還可用于制作太陽能電池、光導(dǎo)纖維和光電傳感器等。
英文名稱： Gas for electronic industry—Silane
替代情況： 替代GB/T 15909-2009
中標分類： 化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類： 化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
發(fā)布部門： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
發(fā)布日期： 2017-05-31
實施日期： 2017-12-01
提出單位： 全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會(SAC/TC 203)
檢測優(yōu)勢
中析研究所檢測服務(wù)涵蓋材料、化工、生物、熱學(xué)、光學(xué)、機械、電力、建材等多個行業(yè)和領(lǐng)域
旗下實驗室CMA資質(zhì)檢測機構(gòu)，高素質(zhì)檢測團隊
檢測資質(zhì)（部分）
檢測實驗室（部分）
合作客戶（部分）
結(jié)語
以上是GB/T 15909-2017 電子工業(yè)用氣體 硅烷服務(wù)的相關(guān)介紹。
